含氟非晶碳膜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

含氟非晶碳膜相关论文

微波功率对a—C：F薄膜结构和光学性质的影响

用苯(C6H6)和四氟甲烷(CF4)混合气体作源气体,用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积技术制备了含氟非晶碳膜(a-C:F).着重讨论了......

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a-C:F膜微波功率结构光学性质含氟非晶碳膜微波电子回旋光振等离子化学气相沉积 microwave ECRCVD aC:F thin film mi

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