含预制类裂纹纳米悬臂梁相关硕士博士期刊学术论文

随着微电子技术的迅速发展，很多先进的微机电器件都是由微尺度多层材料制作而成，有的尺寸已经小至纳米尺度。这种纳米多层结构的断裂......