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周期减小光刻相关论文
基于表面等离子干涉原理的周期减小光刻技术研究
随着微纳米加工技术和纳米光学技术的发展,加工周期性光学结构的方法在向着高精度、高分辨率和低成本的方向发展。其中,基于表面等......
学位
表面等离子干涉
周期减小光刻
双曲线超材料
近零折射率超材料
超大曝光深度光刻
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