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超精密激光测量技术是尖端微电子制造装备不可或缺的核心基础技术,对先进制造和高端装备具有重要的支撑作用。与激光干涉测量技术......
近年来随着超精密装备制造、精密计量与前沿科学研究等快速发展,其对位移测量精度的需求已经从纳米量级逐步过渡到亚纳米甚至皮米......
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针对纳米级周期非线性误差制约外差激光干涉仪使其不能适应下一代超精密装备制造与重大科学工程提出的亚纳米乃至皮米测量精度需求......
