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器件设计与制作相关论文
基于洛伦兹力的MEMS磁传感器的研究进展
文中对制作MEMS磁传感器过程中涉及的主要设计参数、器件的制备工艺进行了介绍,综述了基于洛伦兹力的各种结构MEMS磁传感器的灵敏......
期刊
MEMS磁传感器
器件设计与制作
灵敏度
探测极限
洛伦兹力
电扫描液晶微透镜的设计与制作研究
电扫描液晶微透镜作为一种新型的光学元器件,具有独特的电光性质。通过改变外加电压,可以改变器件中的液晶分子的空间排布,使其折射率......
学位
液晶材料
液晶光学性质
器件设计与制作
常规光学性能
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