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坨面形状相关论文
坨面形状对CVD合成石英玻璃沉积速率的影响
在化学气相沉积(CVD)合成石英玻璃工艺中,针对不同熔融玻璃坨面形状,采用计算流体动力学(CFD)对炉膛内气流场进行模拟。模拟结果表......
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化学气象沉积
石英玻璃
计算流体力学
沉积速率
坨面形状
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