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有限元分析薄膜/基底在纳米压痕过程中的力学性能
运用有限元程序ABAQUS/Standard,建立了纳米压痕的有限元模型,并对一般薄膜/基底体系进行了数值模拟。结果表明:在压入相同深度时,薄膜的......
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finite element film/substrate system residual depth stress
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