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增强放电等离子体源相关论文
PET瓶内镀DLC薄膜的结构、成分及其阻隔性研究
为了降低PET瓶的透氧率,采用射频等离子体化学气相沉积(RF-PECVD)技术,以C2H2为碳源,Ar为稀释气体,在PET瓶内制备类金刚石(Diamond-li......
期刊
增强放电等离子体源
类金刚石膜
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