壓印力量相关硕士博士期刊学术论文

在雷射輔助奈米壓印技衍當中,本研究使用KrF短波長胍衝式準分子雷射,其雷射波長為248 nm、胍衝時同為30 ns,作為輔助加熱矽晶片達......