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复合压电膜相关论文
基于SAW器件“ZnO/(100)AlN/Diamond”多层膜的制备研究
声表面波器件被广泛用于通信领域,而声表面波技术是集光学、声学、电子学以及半导体工艺技术等多门学科的边缘学科。作为声表面波传......
学位
ZnO(100)AlN
金刚石
射频磁控溅射
富Al
复合压电膜
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