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多功率源相关论文

基于多功率源梯度过渡层的Si-DLC的制备及水润滑性能研究

采用溅射、反应溅射与RF-CVD技术相结合的多功率源沉积了梯度过渡层,在此基础上用RF-CVD法沉积了掺硅类金刚石膜,研究了梯度过渡层......

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Si-DLC 过渡层功率源梯度过渡层多功率源非晶碳基薄膜水润滑摩擦磨损梯度薄膜

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