多弧离子镀TiN 相关硕士博士期刊学术论文

采用圆形挡板对国产AIP-01型多弧离子镀的传统弧源靶进行改造，在高速钢、不锈钢和单晶硅片Si(100)上沉积了TiN薄膜。用扫描电镜对薄......