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多晶硅/二氧化硅界面相关论文
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利用扫描俄歇微探针对多晶硅/二氧化硅界面进行分析,发现多晶硅/二氧化硅界面不是突变的,而存在着一个过渡区。根据多晶硅薄膜的成核理......
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