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多级辉光放电特性相关论文
细长管内腔多级辉光放电特性及TiN薄膜沉积
管筒形工件内表面改性一直是等离子体表面改性领域的难题,尤其是细管和长径比较大的管件,等离子体难以进入管件内部,因而处理难度更大......
学位
细长管内腔
多级辉光放电特性
TiN薄膜
沉积模式
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