大气压射频放电相关论文
射频大气压辉光放电在材料表面处理、薄膜沉积等众多工业领域有着广泛的应用前景,近年来,这种放电形式倍受人们的关注。现有的研究......
大气压射频辉光放电(radio frequency atmospheric pressure glow discharge)是一种产生等离子体的有效方法,相对于低气压射频辉光......
近年来，大气压射频放电由于可以产生大体积均匀的低温非平衡等离子体而备受关注，特别是在工作气体中，如氦气、氩气、氮气等，加入少量的......
大气压等离子体不需要复杂的真空结构，被加工材料尺寸不受真空设备限制，在常压下就可以获得，因此便于连续化生产加工，广泛应用于等离子......
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