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大高宽比光栅相关论文

大高宽比光栅的摇床式辅助显影工艺

针对大高宽比微结构显影过程中由显影液的对流传质严重受限、光刻胶层厚、显影时间长带来的显影不均匀问题,提出了基于翘板式摇床......

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大高宽比光栅摇床式辅助显影沟槽深宽比均匀流场 high aspect ratio gratingshaker-assisted development p

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