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掺砷多晶硅的热氧化
在EEPROM的研制中,为了研究掺砷多晶硅与单晶硅氧化的相对关系,进行了800℃湿氧氧化和1000℃干氧氧化实验。结果表明,经过工艺优化,选择适当的工艺方......
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