孪生靶刻蚀相关硕士博士期刊学术论文

中频交流反应磁控溅射是一种利用中频交流电溅射绝缘靶材的真空镀膜技术。相比于传统的磁控溅射,中频交流反应磁控溅射解决了阳极......