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密闭空腔阻挡层相关论文
CVD石墨烯的鼓泡法转移及其上CLD氧化铝的可行性研究
石墨烯作为一种单层碳原子材料,可以表现出超高的载流子迁移率。CVD是最适合工业化生产石墨烯的方法,但面临一个技术瓶颈就是如何......
学位
氧化铝薄膜
化学液相沉积
石墨烯
密闭空腔阻挡层
电化学鼓泡法
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