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本文以C2H4 和H2 稀释的SiH4 为先驱体,采用等离子体增强化学气相沉积法,通过改变C2H4 流 量制备了一系列富碳的氢化非晶碳化硅(a-......
近年来,碳基材料一直是国内乃至国际上的一个研究热点。其中非晶碳(a-C)薄膜的应用尤为广泛,人们对非晶碳薄膜的研究进行了很多年,......
