用Ｒａｍａｎ散射研究了对向靶反应溅射制备的ＣＮ薄膜的键结构，研究表明，在Ｃ膜中掺杂Ｎ可以抑制ＣＮ膜中ｓｐ＾３键的形成，提高ｓｐ＾２键的相对含量，改善Ｃ膜的结构热稳定性。......