射频溅射工艺相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

射频溅射工艺相关论文

硅基底上制备掺铝氧化锌薄膜的研究

本论文概述了铝掺杂氧化锌(ZAO)透明导电薄膜的性能、发展状况、应用前景以及制备方法。以ZnO和Al2O3粉末材料，制备了铝掺杂质量分......

学位

掺铝氧化锌导电薄膜透明薄膜射频溅射工艺晶格结构电学性能光学性能

Optical Investigation of Cu-doped ZnO Films

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期刊

光学研究铜掺杂氧化锌薄膜射频溅射工艺

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