射频阻抗匹配器相关硕士博士期刊学术论文

阐述原子层沉积系统（ALD）中射频阻抗匹配器的设计方案。利用ADS软件对阻抗匹配网络进行仿真,通过分析ALD真空腔室内等离子体产生前后......