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射频ICP脉冲波形相关论文
电磁诊断以及射频感性耦合等离子体特性研究
射频感性耦合等离子体(Inductively coupled plasma,即射频ICP)具有放电气压低、密度高、装置简单以及空间均匀性易于控制等优点,......
学位
调谐射频磁探针
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