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小型电容薄膜真空计相关论文

火星探测小型电容薄膜真空计的性能研究

目前在用电容薄膜真空计存在体积大、重量重等问题，无法满足深空探测中真空测量需求，因此设计了一种具有外形尺寸小、重量轻、工作温......

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真空测量小型电容薄膜真空计计量性能火星探测 vacuum metrology miniature capacitance diaphragm vacuu

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