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空洞及非均匀掺杂对深槽填充SJ-VDMOS电学特性影响
超结(SJ)VDMOS与传统VDMOS相比,在相同的击穿电压下导通电阻降低了约五分之一而成为当前国内外研究发展的重点和热点。其在大功率、低......
学位
超级结器件
金属氧化物半导体
场效应晶体管
尺寸空洞
非均匀掺杂
深槽填充
电学特性
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