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局部外延相关论文
局部双轴应变SiGe材料的生长与表征
利用分子束外延(MBE)对双轴应变SiGe局部区域外延生长和表征进行了研究.图形窗口边界采用多晶Si侧墙,多层SiGe薄膜分段温度生长.采用......
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双轴应变SiGe
局部外延
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biaxial strained SiGe
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