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工件台转速相关论文

工件台转速对非平衡磁控溅射沉积MoS_2-Ti复合薄膜的结构与性能影响

采用非平衡磁控溅射沉积技术制备MoS2-Ti复合薄膜,研究了工件台转速对薄膜的结构和性能的影响。利用XRF和XRD分析薄膜的成分和晶相......

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非平衡磁控溅射 MoS_2-Ti复合薄膜工件台转速结构和性能 unbalanced magnetron sputtering MoS_2-Ti coati

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