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固贴式薄膜体声波谐振器（SMR－FBAR）技术是近年来电子工业领域里的突破性技术，具有2GHz以上的工作频率、极高的的品质因子及良好的机械......
期刊
针对布拉格反射栅的特点,选用ta-C作为高声阻抗材料,AlN作为低声阻抗材料。利用COMSOL Multiphysics对布拉格反射栅薄膜体声波传感......
