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原子层淀积高k材料的光学特性研究
随着半导体行业的不断发展,集成电路芯片的密度随之增大,晶体管的沟道长度和栅介质的厚度也不断缩小。当传统的二氧化硅栅介质的厚......
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高K材料
原子层淀积技术
变角椭偏仪
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带差
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