干涉仪测量系统相关论文
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在超精密的测量和校准方面,激光干涉仪已经扮演多年极重要的角色。但是近年来随着自动化运动系统性能大幅提高,面对半导体和传统金属......
Renishaw的新型XL-80激光系统和XC-80补偿器,比原有的ML10和EC10小了许多。现在,二者总重仅3kg多一点(包括连接电缆、电源和传感器),比......
提出了干涉仪测量系统的六通道测量数据联合定位的处理思想,并提供了具体的计算处理方法.该新方法是将测速数据与定位数据联合确定......