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平坦化抛光相关论文
电磁协同流变抛光实验装置的研制
微电子光电子器件不断向高速化、高集成化、高密度化和高性能化方向发展,为了得到具有超光滑表面的光电材料,并保证其完整性,提高......
学位
电磁协同流变
平坦化抛光
抛光工作液
仿真优化
模块化设计
磁流变动压平坦化抛光装置研制及试验研究
电子信息制造业是国家基础性和战略性产业,其基础是以半导体芯片的设计、制造及相关支撑作用的半导体基片超精密平坦化加工技术。......
学位
磁流变效应
磁流变动压
平坦化抛光
抛光力特性
工艺实验
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