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平板电容理论相关论文
考虑制作工艺和边缘效应的梳齿电容理论
为解决梳齿驱动器中理想计算模型误差较大的问题,利用平板电容理论及微积分方法,对制作工艺及边缘效应的影响进行了分析,并建立相......
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MEMS
梳齿驱动器
平板电容理论
边缘效应
制作工艺
MEMS
comb actuator
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