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弧离子增强反应相关论文

高温退火处理对TiAlSiN硬质薄膜的微观结构与硬度的影响分析

用弧离子增强反应磁控溅射方法,在高速钢(W18Cr4V)基体上沉积出具有较高Al,Si含量的TiAlSiN多元硬质薄膜,研究了不同温度退火后薄......

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硬质薄膜高温退火 TiAlSiN 磁控溅射沉积温度薄膜硬度弧离子增强反应非晶结构退火温度复合结构

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