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强流脉冲离子束烧蚀相关论文
衬底温度对强流脉冲离子束烧蚀沉积类金刚石薄膜化学结构的影响
采用强流脉冲离子束(High-intensity pulsed ion beam, HIPIB)烧蚀技术在Si(100)基体上沉积类金刚石(Diamond-like carbon, DLC)薄......
期刊
衬底温度
强流脉冲离子束烧蚀
沉积技术
类金刚石薄膜
化学结构
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Diamond-like carbon films High-intensity
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