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微位移输出相关论文

微尺度光热膨胀机制和光热微驱动新方法研究

微纳米技术是近年来发展起来的一门新型的交叉学科,微机电系统(MEMS)技术是其中的一个重要分支。微驱动机构是一种能够进行微纳米......

学位

微纳米技术 MEMS 微驱动机构电热驱动机构光热膨胀机制光热微驱动机构(PTA) 准分子激光加工技术体视显微镜原子力显微镜微位移输出性能优化

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