微光刻图形相关论文
介绍了一种自主开发的复杂微光刻图形版图绘制系统.该系统能根据用户的要求自动成组地批处理各种圆环、螺旋线、椭圆环、扇形、条......
给出了一种微光刻图形CIF格式的中间挖空多边形切割成PG3600格式所需矩形的新算法.首先,用水平扫描线把有内环的多边形切割成三角......
