微制造技术相关论文
由于激光所具有的优异特性,以及适应不同材料加工的激光器市场化,激光加工技术在微制造领域得到广泛应用.本文着重介绍激光钻孔、......
微结构器件既是微制造技术的重要研究内容，也是精密/超精密测量领域的研究热点和重点；微结构器件的加工精度需要可靠的精密形貌......
纳米材料具有独特的物理化学特性，其在分析化学等领域中的潜在应用价值 已引起了科学工作者们的极大关注。尤其是碳纳米材料与......
本文介绍了激光微细加工技术的特点,与其他微细加工技术相比,激光微细具有非接触、有选择性加工、热影响区域小、高精度与高重复率......
本文分析了传统MEMS加工工艺的特点及其效率低、成本高、复杂三维结构加工能力不足的局限,对以克服上述不足为目标而出现的各......
本文探讨微型色谱,即将色谱原理和仪器原理与微制造技术和理念相结合,重新设计检测器,进样器,输液和输气系统,色谱柱和整机结构以......
光子晶体存在着对特定频率的光子禁阻的能带和能隙,是研制新一代光电子器件的一类新型材料,具有广泛的应用前景.决定光子晶体性质......
,Characterizations of Stress and Strain Variation in Three-Dimensional Forming of Laser Micro-Manufa
A micro-manufacturing technology is presented to form three-dimensional metallic micro-structures directly. Micro grid a......
随着微电子技术的发展,微制造已经成为一种发展趋势,出现了多种新型微成形工艺,但是随着微零件的几何尺寸的微小化,材料的流动应力......
由于纳米机械共振腔是量子尺寸到经典的过渡，它已是当今学术界的研究热点。纳米谐振子与量子点的耦合为量子信息的发展提供了广阔的......
量子点是三维尺寸都在纳米量级的半导体晶体，具有独特的光电性能，在生物标记，微电子技术和光电传感等领域的研究与应用方面具有极大的......
随着硅材料微制造技术的迅速发展,早在20实际70年代末期斯坦福大学就开发出硅微加工的气象色谱仪,随后人们又提出了制造微传感器、......
本文综述了生物／化学微传感器的技术和应用，详细描述了起源于半导体技术的标准工艺流程和制造三维机械结构的特殊微细机加工工艺．给出......
研究Ｘ射线反射式带片衍射图形制造过程中的深度误差效应。介绍了深度误差允痉的计算方法及计算结果，给出实测结果，并讨论了在制造过程......
本文综述了生物/化学微传感器的技术和应用,详细描述了起源于半导体技术的标准工艺流程和制造三维机械结构的特殊微细机加工工艺,......
本文研究Ｘ射线Ｂｒａｇｇ－Ｆｒｅｓｎｅｌ元件中衍射图形的制作技术。介绍了衍射图形制作技术方案的确定，金属吸收层厚度的计算，制作技术工艺流程及衍射图形测试......
【摘 要】微制造技术包括光刻、薄膜沉积、等离子体刻蚀、键合等技术，是集成电路制造、微机电系统、微光学等的关键技术。微制造设......
现代电驱动技术是一个传统的领域，但在近20年及可预计的未来20年，由于新材料（如纳米材料、新型磁材料、轻质材料）、新技术（信息技术、微......
美国空军实验室（AFRL）空间低温制冷技术小组，从2002年起，在中小企业创新研究计划（SBIR）的资助下，与国际Mezzo技术公司合作，开发并制造出高......
近5年许多研究和开发活动集中于进行小尺度反应这一未开发领域.着重分析了基于微反应器的生产装置设想的可行性以及它是否是一个理......
概述了微机电系统(MEMS)的发展史,综述了微机电系统(MEMS)领域所涉及的微材料、微机械设计和模拟、微细加工技术,微封装和测试等关......
<正> 英特尔目前正在将半导体的微制造技术应用于生物科技。这是英特尔公司副总裁兼首席技术官帕特里克·基辛格在该公司主办......
微细电火花加工技术是微细加工领域最重要的加工技术之一。脉冲电源技术是影响电火花加工工艺指标的重要因素。为研究微细电火花加......
本文概述了国际上十分重视的微光机电系统的产生、发展及其显著特点，并从微制造技术、微器件与系统及激光机电系统的应用等几方面简......
近5年许多研究和开发活动集中于进行小尺度反应这一未开发领域。着重分析了基于微反应器的生产装置设想的可行性以及它是否是一个......
阐明了微机电系统 (MEMS)的学科内涵与应用范畴 .着重介绍了国外MEMS的研究情况 .研究表明微尺度下一些物理现象与宏观世界的存在......
