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微半球谐振陀螺仪相关论文
组装式硅微半球谐振陀螺加工关键技术研究
微半球谐振陀螺仪是测量转速或旋转角度的微型设备,是传统陀螺的微型化设计,不仅继承了传统陀螺仪的优点,还具有体积小,功耗低,可......
学位
微半球谐振陀螺仪
阻尼分析
加工误差
工艺设计
MEMS加工
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