微图形制作相关论文
主要描述了紫外准分子激光刻蚀聚酰亚胺（Polyimide,PI)制作微图案实验。通过这种刻蚀方法，成苗在PI上制作了微米量级线宽和亚微米量......
主要描述了紫外准分子激光刻蚀聚酰亚胺 (polyimide ,PI)制作微图案实验。通过这种刻蚀方法 ,成功地在PI上制作了微米量级线宽和亚......
