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微型加速度触发开关相关论文

若干微电子机械系统研制及相关LIGA工艺研究

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学位

微电子机械系统 LIGA/UV-LIGA技术厚锌牺牲层技术微电铸纳米颗粒复合电镀微型加速度触发开关微型毫米波矩形加速通道

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