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微晶硅碳薄膜相关论文
P型微晶硅碳的性能研究及其在柔性衬底太阳电池中的应用
采用RF-PECVD技术,将甲烷(CH4)作为碳的掺杂源沉积P型微晶硅碳薄膜材料,主要讨论P型微晶硅碳材料的结构和性能随CH4掺杂量的变化.......
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微晶硅碳薄膜
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