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微机械薄膜可变形镜相关论文
连续镜面可变形镜面形的正交多项式描述
以压电可变形镜(PDM)和微机械薄膜可变形镜(MMDM)为例,讨论了准确描述连续镜面面形的方法.比较了基于Zernike多项式和Q多项式的面......
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光学系统
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