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微机电加速度传感器相关论文
压电薄膜微机电加速度传感器的力学分析
基于压电薄膜的压电效应,研究压电薄膜微机电加速度传感器.对双层压电薄膜微机电加速度传感器进行静力分析,得到传感器方程,并进行数值......
期刊
微机电加速度传感器
压电效应
压电薄膜
灵敏度
micromachined accelerometer
piezoelectric effect
piezo
压电薄膜微机电加速度传感器的力学分析
微机电加速度传感器具有结构简单、灵敏度高等特点,因此被广泛应用于各种环境下加速度的测量。压电薄膜微机电加速度传感器作为典型......
学位
微机电加速度传感器
压电薄膜
灵敏度
模态分析
压电效应理论
传感器方程
谐响应
频响带宽
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