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微梁长度相关论文
微悬臂梁长度对梁末端与底座粗糙面间接触的影响
将磁致伸缩效应等效为材料的热膨胀效应,考虑微梁末端与底座粗糙面微凸体间的相互作用、材料弹塑性变形及微梁弹性恢复力等影响,利......
期刊
MEMS器件
磁致伸缩薄膜微悬臂梁
粗糙面
微梁长度
接触特性
MENS devices magnetostrictive film micro-cantile
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