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新型微电子IC晶圆清洗方法的研究
随着微电子技术的不断发展,对晶圆表面洁净度的要求越来越高,使微电子晶圆清洗工艺面临着许多技术难题。本论文主要是针对目前普遍......
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微电子清洗
电化学氧化
表面污染物
非离子表面活性剂
硼掺杂金刚石电极
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