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微米划刻相关论文

基于单磨粒微米划刻的单晶硅精密切削机理研究

为了探究硅片器件精密磨削加工的切削特征与机理,运用三棱锥形状的金刚石磨粒以不同加载压力划刻单晶硅材料表面模拟磨削加工过程,......

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单晶硅微米划刻精密加工切削机理划痕形貌切削力 monocrystalline silicon micro-scratch precision mach

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