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在徽纳米尺度下，摩擦行为受到针尖尺寸和温度两个重要参数的影响。本研究利用基于Si的微加工制造技术制作了三种不同尺寸并且具有加......
摩擦问题,尤其是纳米技术蓬勃发展中产生的高新技术如微型机器人、微纳机电系统等的接触面尺寸在纳米级别,其比表面积大,表面摩擦......
本文采用基于Si的微加工制造技术研制了有着三种不同针尖尺寸并且具有加热功能的悬臂梁探针阵列，该探针阵列利用硅尖低温氧化削尖的......
