微纳米制造技术相关论文
使用微波回旋共振离子源，研究了低能Ar^＋束在不同入射角度下对旋转单晶硅（100）表面的刻蚀效果及其光学性能。结果表明：样品旋转、离子束......
本文将国外专业学科的先进教育理念融入我们具有自身特色的专业教学之中,讨论了"微纳米制造技术"双语教学改革的教学内容、教学手......
利用离子柬溅射诱导实验方法，在单晶Si（100）基底上辅助沉积银膜，研究了低能Ar＋离子束30。入射时，不同离子束能量和束流密度以及基底温度......
摘要：本文结合“微纳米制造技术”课程特色，将国外微纳米制造方向研究生课程的先进教学理念融入教学实践中，探讨了“微纳米制造技术”......
摘要：微纳米制造技术前沿性强、发展速度快、国际化程度高，需要建立基础知识、工程实践、前沿发展紧密结合的国际化课程体系，以适应行......
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微热压成型法是高效批量的精密微纳米结构制造方法之一,对设备要求相对简单、操作方便,生产成本也相对低廉。依据微纳米制造热压成......
叙述采用生物加工方法实现微纳米材料、微纳米器件、微纳米系统制造的技术体系。介绍微纳米生物加工的最新进展 ,展望生物加工领域......
