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微纳米GaN衬底模板制备及外延研究
GaN晶体材料因其具有较高的电子迁移率和热导率,高化学稳定性,耐腐蚀等优点,被广泛应用于光电子器件和高频微波器件中。目前器件大......
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光助化学湿法腐蚀法
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